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Gigaphoton发布新的DUV光源产品规划图

 


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本文摘要:半导体材料光刻光源的关键经销商Gigaphoton株式(总公司:栃木县小山坡市,老总:浦中恪己)宣布,为提升设备的工作效率,企业将制订新的商品规划方案,以应付需要量大大的加重的半导体厂家的回绝。

半导体材料光刻光源的关键经销商Gigaphoton株式(总公司:栃木县小山坡市,老总:浦中恪己)宣布,为提升设备的工作效率,企业将制订新的商品规划方案,以应付需要量大大的加重的半导体厂家的回绝。Gigaphoton本次制订的商品规划方案“RAMEnhancement”加强了DUV光源收到刺激激光近视手术器的可信性(Reliability)、易用性(Availability)及其可扩展性(Maintainability)。企业早就刚开始行動,将在今年前超过被业内精准定位为无穷大的“工作效率99.8%的堡垒”。

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在集成电路芯片生产制造中,光刻工艺流程的工作效率是仅次的危害因素。因而,为最大限度地提升设备的工作效率,必不可少保证 “长时间稳定的工作中”,及其“最少的维修時间”。Gigaphoton为解决困难这种难题,将减少控制模块使用寿命,派遣当场技术工程师提升设备的服务项目特性,搭建尽可能不中止设备运行的维修。


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